Profilometro TENCOR 500 - Manuale per l'utente


Accensione e posizionamento di campione e stilo.
  • accendere PC e MONITOR
  • premere ENTER per l'inizializzazione degli assi
  • infilare il campione sulla base e spostarlo agendo manualmente con 2 manopole poste a sinistra dello strumento
  • premere F6 x-y per spostarsi sul campione
  • spostamenti verticali dello stilo:
    • premere tasto ¯ e tenerlo premuto per abbassare lo stilo; una volta avvenuto l'impatto con il campione lo stilo si posiziona da solo alla giusta altezza sul campione; controllare di aver ben centrato il campione
    • premere tasto ­ per sollevare lo stilo
  • spostamenti dello stilo sul piano x-y (i movimenti vanno fatti con lo stilo sollevato):
  • usare le manopole laterali per centrare lo stilo sul punto esatto di interesse (ogni tacca sul monitor corrisponde a 100µm)

Creare la ricetta per la scansione.
  • premere ESC
  • CATALOG
  • selezionare una ricetta a caso per modificarla e crearne una nuova
  • ENTER
  • modificare i parametri di interesse della ricetta
  • muoversi con i 4 cursori a freccia per posizionarsi sulle diverse righe da modificare (i valori numerici si possono cambiare con i cursori a freccia o si possono impostare i valori con la tastiera numerica)
  • ESEMPI di parametri:
    • SCAN SPEED 10µm (all'aumentare della velocità di scansione peggiora la risoluzione)
    • SAMPLING RATE
    • HORIZ RESOL. (è bene tenerlo al di sotto di 0.5µm)
    • la scansione puo' essere effettuata da sx a dx o viceversa
  • Si possono effettuare più scansioni al minuto e si ottiene una media
  • V.RANGE/RESOL 13µm/1A (con risoluzione fino a 1 Å) o 300µm/25A (FONDO SCALA)
  • PROFILE TYPE
  • come salvare la Ricetta:
    • premere F1
    • assegnare il nome alla ricetta su SAVE RECEIPT AS (per cancellare il nome precendentemente scritto, usare CANC)
    • ENTER

Esecuzione di una scansione.
  • ESC per uscire da tutti i menu
  • premere F6, F8 START per iniziare la scansione una volta che ci si e' posizionati dove si vuole effettuare la misura
  • premere STOP se si vuole interrompere prima della fine
  • alla fine appare il grafico della scansione sul monitor
  • premere F10 Level per effettuare il leveling della misura
  • spostare i cursori per selezionare i due punti da livellare
  • premere ENTER per livellare
  • zoom: manopola nera sotto il monitor, a destra.

Lettura della scansione.
  • ci sono fino a 2 cursori left e 2 cursori right (L L e R R)
  • i cursori attivi sono in rosso
  • per selezionare le righe L o le righe R, usare la Barra spaziatrice
  • con i tasti ¯ e ­ si modifica la distanza tra i due cursori L o i due cursori R
  • con i tasti ® e ¬ si spostano entrambe le frecce L o entrambe le frecce R
  • premere ENTER
  • PARAMETRI forniti sul display a fine scansione:
    • TIR (total indicator) Escursione max picco-picco tra max e min
    • HEIGHT Differenza tra le due medie
    • WIDTH Ampiezza del gradino
    • F2 e' un sommario di tutti i dati
    • F3 e' un replot della schermata

Salvataggio dei dati.
  • premere F4
  • OPERATOR Inserire il nome dell'operatore
  • PART ID Inserire il nome del campione
  • premere F2 in modo da salvare
  • premere ESC per uscire dalla schermata
  • andare su DATA, CATALOG e selezionare l' OPERATOR
  • ENTER e così si trova l'indice con i propri campioni
  • per salvare su dischetto:
    • andare su CONFIG, DISK PATH
    • ENTER
    • export To/Import From : A
    • F3 per salvare
  • per ESPORTARE i dati:
    • andare su DATA, CATALOG
    • ENTER
    • Premere F2 recall in modo da richiamare tutte le analisi fatte
    • Selezionare il dato
    • Premere F3
    • Premere N per esportare in formato ASCII

Al termine della misura.
  • Per estrarre il campione:
    • tirar su il piu' possibile lo stilo tenendo premuto ­
    • estrarre il campione manualmente
  • spegnere il monitor dello strumento

Uso della stampante.

E' stata installata una stampante accanto al profilometro.

  1. La stampante puo' essere accesa quando serve.
  2. Il comando di stampa e' il tasto <PrntScr>. Attenzione: NON <Shift><PrntScr>
  3. Prima di iniziare una nuova scansione attendere la fine della stampa corrente
  4. Non preoccupatevi di una luce gialla lampeggiante dopo la fine della stampa: con il comando successivo di stampa o con lo spegnimento, si resetta.
  5. Dopo l'uso ricordarsi di spegnere la stampante.
  6. I fogli A4 sono nelle vicinanze. Se finiscono, provvedete a rimediare una risma presso l'amministrazione.