CAPPE CHIMICHE: Raccomandazioni generali

  • ci sono due cappe: una per gli acidi, in materiale plastico; l’altra per solventi, in acciaio
  • usare la cappa degli acidi per lavorazioni con acidi (p.es. etching del cromo, attacchi di metalli, pulizia con bombardino, etc.) e con basi (attacco del silicio con KOH, ammoniaca calda etc.)
  • nella cappa per gli acidi, non vanno assolutamente usati solventi, che potrebbero danneggiare alcune parti in plastica interne
  • usare la cappa dei solventi per acetone, alcol, tricloroetilene etc. e per lo sviluppo dei resist ottici ed elettronici; si ricorda che per i resist elettronici e’ disponibile anche la stanzetta all’interno dell’area e-beam
  • le istruzioni specifiche per lo scarico sono date nella parte descrittiva piu’ specifica di ogni cappa
  • attenzione a non sprecare inutilmente acqua deionizzata, specie nelle vaschette di risciacquo
  • la sera, prima della chiusura, svuotare le vaschette di risciacquo dall’acqua deionizzata, abbassare i vetri delle cappe e spegnerle; chiudere anche il deionizzatore.